大理石平台测量方法

大理石平台的毛坯先是用金刚石圆锯片将花岗石荒料锯切成所需尺寸，加工平面通常要经过数道工序的砂轮磨削和抛光，更高精度必须通过灰铸铁研磨工具和碳化硅磨料进行手工研磨获得。需要开槽时选用相应的铣头，钻孔时则用金刚石取芯钻头。

大理石平台的检测手段有两种：一种是借助精度为0.5μm的电子水平仪，用位移法可检测直线度，用来制法可检测平面度，将测的结果经过算法换算，可得到直线度和平面度的具体数值;其特点是精度不太高，但测量数据可靠，无'0'点漂移问题，特别适合于在线测量与检测。

另一种测量直线度的方法可以通过精度为0.1μm的电容测微仪用位移法测量，其表头的示值即为直线度的误差值;在此测量中，由于电感测微仪自身的'0'点漂移较严重，需经过长达24h的稳定后，其数值才可信，故使得加工与测量间的衔接时间增长。更高精度的加工必须有更高一级精度的检测手段，目前常采用HP5528A或HP5529A动态校准仪，它的显示精度为1nm，可检测平面度、垂直度、直线度、时基即振动、角位移测量、对角测量等等。